型號:WMK-A323

可搭配
● 自動化
FOUP (Cassette) in/FOUP (Cassette) out
● Robot
1）搭配 mapping sensor，於取片前預先偵測 Cassette 內晶圓是否疊片或斜片，以避免誤動作
2）雙手臂，縮短晶圓交換時間
● 視覺對位辨識 notch 與晶圓位置，校準對心
● MES 料帳管理
SECS/GEM